圣柏林的專長是響應嚴格的規范,并使用礦物絕緣電纜設計定制的高性能熱解決方案。
我們的工程專業知識、原型制作能力和我們對礦物絕緣電纜的了解使我們能夠為客戶提供獨特的解決方案。
我們還能夠開發包含我們的加熱元件的復雜機械部件。
我們的優勢在于我們通過工廠認證的“精確復制”在內部掌握所有這些流程,專門用于晶圓制造流程的 SEMICON 應用:高精度加工、焊接、焊接、測試和鑒定、控制……。
在過去的幾個月里,圣柏林開發了一種創新、可靠和高效的解決方案來加熱真空室內的系統。
該項目的挑戰是在超高真空和高溫腐蝕性環境中將兩個必須集成到客戶最終系統中的熱系統結合起來。
我們必須開發的第一個熱系統是一種盤繞在心軸上的加熱元件
該解決方案很復雜,因為我們必須滿足關鍵規格,例如:
• 加熱器的限制和尺寸公差
• 800°C 的臨界工作溫度
• 實現 10% 的功率分布均勻性 – 多個加熱區域設計有不同的功率密度
• 運行保證 > 5 年,在具有腐蝕性環境的超高真空中
我們設計了 6 個不同的概念并比較了這些解決方案,以便選擇一個。
圣柏林選擇了 EC 纏繞/釬焊在金屬支架上的設計,該金屬支架是根據特定工藝批量生產的。
取得的進展 – 取得的成果 – 所選解決方案的獨創性
這種設計乍一看像加熱筒,但其設計具有創新性,因為它通過 圣柏林開發的工藝將完全纏繞的加熱元件集成在心軸中。
預期的性能和壽命結果在原型的鑒定階段得到驗證。
圣柏林的這種包羅萬象的設計以其性能優勢、低成本設計和長使用壽命性能面向許多領域。
第二個熱系統是一個復雜的 3D 設計金屬部件與高溫加熱元件的組件
需要解決的問題
能夠組裝具有苛刻尺寸規格和高達 800-900°C 工作溫度的復雜金屬。
該溫度接近臨界溫度,特別是在規定使用壽命超過 5 年時。
我們必須解決復雜加工的問題。
還必須考慮加工引起的變形,以及焊接和釬焊過程引起的變形。
設計和制造方法完全由 圣柏林開發,以實現適用于大批量制造的可行設計,并將不符合尺寸或功能規格的風險降至最低。
我們研究了原材料 (304L),并評估并選擇了最具成本/質量/時間效益的材料。
對于我們評估的金屬部件:全質量/鍛造/鑄造材料。
這些零件的另一個挑戰是對它們的表面進行處理,以使真空室中的高腐蝕性液體不會粘附在它們上面。
經過大量研究和測試,我們確定了一種具有非常好的抗濕性能并可用于此類應用的物質。
還開展了驗證最合適的沉積工藝(PVD 或 CVD)的工作。
我們最終選擇了可在高達 600°C 下運行的最佳沉積解決方案。