-
圣柏林的 高性能ESC基于優化的內聯MLC工藝生產。
-
MLC ESC 是許多半導體設備和工藝中使用的關鍵部件。
-
電極和冷卻劑模式等 ESC 設計提供了多種功能性能。
-
圣柏林 的 MLC ESC 通過內置多層電極和多區域加熱器提供最佳晶圓溫度控制。
-
圣柏林陶瓷熱壓電調具有高端陶瓷特性
-
高純度ESC具有高介電強度和相對密度
-
高介電常數ESC產生高夾持力
-
加熱器或多電極可嵌入陶瓷板
-
圣柏林的 HP ESC 在高密度等離子蝕刻工藝中表現出高耐用性
3. 圣柏林電調的陶瓷材料特性