背景原子層沉積 (ALD) 市場的一家半導體設備公司聯系圣柏林,尋求定制高溫加熱器解決方案。他們的應用涉及使用一系列不同化學過程的薄膜沉積。重復這些過程會導致薄膜緩慢沉積。 |
要求
|
結果圣柏林 生產了一種高效的高溫加熱器,具有出色的均勻性。該設計能夠充分壓縮內部元件,以實現最佳的溫度傳遞。底板外周周圍的焊縫和 (3) 個提升銷孔支座對于真空完整性、升溫速率和溫度穩定性的設計至關重要。 |
【 微信掃碼咨詢 】
0755-27749405
背景原子層沉積 (ALD) 市場的一家半導體設備公司聯系圣柏林,尋求定制高溫加熱器解決方案。他們的應用涉及使用一系列不同化學過程的薄膜沉積。重復這些過程會導致薄膜緩慢沉積。 |
要求
|
結果圣柏林 生產了一種高效的高溫加熱器,具有出色的均勻性。該設計能夠充分壓縮內部元件,以實現最佳的溫度傳遞。底板外周周圍的焊縫和 (3) 個提升銷孔支座對于真空完整性、升溫速率和溫度穩定性的設計至關重要。 |